英诺激光:关注国内半导体行业发展趋势 已在硅晶圆前道检测环节开展合作

2023-11-28 09:31:00 证券时报网 

证券时报e公司讯,近日,有投资者通过互动易平台向英诺激光(301021)提问,看到上海微电子官微发布,上海微电子28nm精度光刻机已经通过技术认证,并在光源技术方面与英诺激光展开合作,是否属实?对此,英诺激光回复,公司在半导体领域与国外客户开展了深度合作,并已批量供应了应用于碳化硅退火制程的激光器,积累了丰富的行业经验。英诺激光时刻关注国内半导体行业发展趋势,已在硅晶圆前道检测环节开展合作。

(责任编辑:董萍萍 )
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