晶盛机电等公布“碳化硅分选机”专利

天眼查APP显示，近日，浙江求是半导体设备有限公司,浙江晶盛机电股份有限公司申请的“碳化硅分选机”专利公布。 摘要显示，本申请公开了一种碳化硅分选机，包括上料单元、寻边扫码装置、面型检测装置、电阻率检测装置、第一缺陷检测装置、第二缺陷检测装置、下料单元，上料单元用于存储、移动晶圆，寻边扫码装置用于检测晶圆圆心和定位部位置，根据检测结果调整晶圆，并读取调整后晶圆定位部中的晶圆标识，面型检测装置用于检测晶圆厚度，电阻率检测装置用于采样晶圆采样点电压，并根据电阻率计算公式，确定采样点电阻率。第一缺陷检测装置用于检测晶圆的两个表面，并根据结果确定晶圆的第一种缺陷，第二缺陷检测装置用于检测晶圆的一个表面，并根据结果确定晶圆的第二种缺陷，下料单元，用于包装检测后的晶圆。该碳化硅分选机能实现连续自动化进行必要项目检测。

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