天眼查APP显示,近日,合肥欧莱高新材料有限公司,广东欧莱高新材料股份有限公司申请的“一种在线精准测温的靶材热处理炉”专利公布。 摘要显示,本发明公开了一种在线精准测温的靶材热处理炉,包括炉体、温显仪、多个用于分别插设在靶材的各个测温孔内的测温器和多个测温线,温显仪设置于炉体的外部,炉体的一侧开设有与炉体炉腔连通的穿线孔,各个测温线的一端与测温器连接、另一端穿过穿线孔分别与温显仪连接,穿线孔与各个测温线之间填充有耐火隔热填料,每一个测温器上均设置有用于密封靶材的测温孔的密封件。通过在靶材上开设多个测温孔,将各个测温器分别插进各个测温孔内,从而直接检测靶材自身的实际温度,能够精准的控制热处理工艺参数,减小靶材升温曲线滞后于靶材热处理炉显示温度对靶材质量的影响,减小不同初始装料温度对靶材质量的影响,提高靶材晶粒均匀性。
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