晶盛机电等公布“一种机器人夹爪及下料方法”专利

天眼查APP显示，近日，杭州中为光电技术有限公司,浙江晶盛机电股份有限公司,浙江晶瑞电子材料有限公司申请的“一种机器人夹爪及下料方法”专利公布。 摘要显示，本申请公开了一种机器人夹爪及下料方法，涉及半导体制造技术领域，机器人夹爪包括上下片控制装置、连接于上下片控制装置端部的支撑结构和均匀设置于支撑结构上的多个吸附件组，部分吸附件组上设置有可伸缩的活动机构。当活动机构伸长或者缩短后，与活动机构连接的吸附件组上的晶圆所在平面和其余吸附件组上的晶圆所在平面之间相互平行且形成间隔，能够同时实现多片晶圆的取放。通过上述设置，本申请实现了单次取放多片晶圆的技术效果，提高了取片和下片效率的同时也减少了机器人夹爪的占用时间。

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