天眼查APP显示，近日，苏州德龙激光股份有限公司申请的“晶圆红外辐射式加热装置”专利公布。
摘要显示，本发明涉及一种晶圆红外辐射式加热装置，包括红外加热旋转轴机构、相同结构的水平加热机构一和水平加热机构二，所述红外加热旋转轴机构的左侧和右侧均连接有与其同步旋转的水平加热机构一，所述红外加热旋转轴机构的前侧和后侧均连接有与其同步旋转的水平加热机构二。本发明能提高工作效率。
（责任编辑：张晓波 ）
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