微导纳米公布“晶圆翘曲监测装置、方法以及晶圆制造系统”专利

天眼查APP显示，近日，江苏微导纳米科技股份有限公司申请的“晶圆翘曲监测装置、方法以及晶圆制造系统”专利公布。 摘要显示，本申请涉及一种晶圆翘曲监测装置、方法以及晶圆制造系统，激光检测器件用于接收反向激光光线和正向反射激光光线，并且获取反向激光光线和正向反射激光光线相互干涉后的光线强度数据，光线强度数据用于计算目标晶圆的晶圆翘曲数据。上述晶圆翘曲监测装置的测量精度为所用激光的波长，通常为百纳米级别，甚至纳米级别，具有高测量精度，而且其具有光路简单、结构简易以及安装方便的优点，同时利用原位激光自混合干涉测量，可保证高效、高精度的量化工艺过程中不同吸附力下晶圆翘曲程度的差别，由此可适当调节吸附系统所提供的吸附力，避免实际提供吸附力与晶圆工艺所需吸附力不匹配所引起的背镀及破损问题，进而提升良率、减少晶圆破损。

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