中科仪等公布“一种高温干式真空泵机组”专利

天眼查APP显示，近日，中科仪（南通）半导体设备有限责任公司,中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司申请的“一种高温干式真空泵机组”专利公布。 摘要显示，本发明涉及干式真空泵技术领域，且公开了一种高温干式真空泵机组，包括上泵、下泵与加热板，上泵设置于下泵上方，上泵与下泵之间设置有泵连接口件，下泵中部上端设置进气腔体，下泵且位于进气腔体下方设置排气腔体。该高温干式真空泵机组，通过设置泵连接口件，外部氮气可通过氮气入口进入下连板，进而通过氮气出口排出并进入进气通道内部，进气腔体上表面的进气通道两端分别布置深长孔至进气腔体下表面作为深长孔氮气通道，利用腔体的温度，进行氮气预加热，下泵的排气腔体布置与进气腔体内深长孔氮气通道相连接的氮气槽，通过氮气槽将氮气配入腔体内，避免了氮气的通入导致高温的泵腔瞬间冷却，降低其泵内温度。

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