国产射频电源龙头恒运昌11月14日科创板上会 ——系2025第二批被抽中现场检查企业首单

11 月 14 日，深圳市恒运昌真空技术股份有限公司（下称 “恒运昌”）将迎来上交所科创板上市委员会审核。作为2025年第二批IPO企业现场检查中首家进入上会环节的企业，这家深耕等离子体射频电源系统领域 12 年的“国产替代先锋”，其审核进程不仅关乎企业自身发展跃升，更被业内视作国产半导体核心零部件企业冲刺资本市场的 “风向标”。

核心部件国产化破局 上会承载产业链期待

等离子体射频电源系统的性能直接影响薄膜沉积、刻蚀等环节中等离子体的成分浓度、均匀性和稳定性等，对于薄膜沉积的厚度、密度、应力、速率，以及刻蚀的选择性、方向性、速率、质量等至关重要，进而影响晶圆制造工艺的能力、良率和效率，等离子体射频电源系统在半导体制造核心装备中占据着核心位置。长期以来，该领域被 MKS、AE等海外巨头垄断，2024 年其国产化率不足 12%，国内晶圆厂普遍面临 “价格高、交付慢、售后响应滞后” 困境。

“恒运昌的上会，是国产等离子体射频电源系统技术突破的一次集中检验。”一位半导体设备行业人士表示，在半导体产业链自主可控需求日益迫切的背景下，企业若能顺利登陆科创板，或将推动形成更有利于核心零部件企业发展的资本生态，加速国产化进程。

据招股书披露，恒运昌2013年成立，2025年6月IPO申请获受理，7月进入问询阶段，历经两轮问询后推进至上会，保荐机构为中信证券。

技术+客户双壁垒 企业优势凸显

从技术实力看，恒运昌已完成三代产品迭代：第一代CSL系列奠定基础，第二代 Bestda 系列支撑 28 纳米制程，第三代Aspen系列直接突破7-14纳米先进制程，关键参数达国际先进水平。其核心突破在公司自主构架的3大基石技术及8大产品化支撑技术，涵盖信号采样及处理、相位锁定、同步控制、快速调频、脉冲控制等等离子体射频电源系统运行中的关键技术。

截至2025年6月，企业手握已授权发明专利108项、在申请专利133 项，承接 3项国家级重大专项。

客户合作方面，恒运昌已成为拓荆科技、北方华创、盛美上海等头部设备商的战略级供应商，并进入****等头部晶圆厂的供应链体系。

财务数据显示，2022-2024年及2025年上半年，恒运昌营收分别达1.58 亿元、3.25亿元、5.41亿元、3.04 亿元，2024年净利润增至1.43亿元；2025年上半年产能利用率106.35%、产销率超100%，供需缺口显著。

募资攻坚先进制程 产业意义深远

本次恒运昌拟募集资金计划投向沈阳半导体射频电源系统产业化建设项目、半导体与真空装备核心零部件智能化生产运营基地项目、研发与前沿技术创新中心项目等项目，重点突破信号采样及处理、相位锁定等先进技术，持续助力先进制程半导体设备关键零部件的国产化进程。

从深圳初创车间到冲击科创板，恒运昌正是国产半导体核心部件从 “0 到 1” 突破的缩影，恒运昌致力为 “中国射频”力量的崛起写下关键注脚，为产业链自主可控注入新动能。

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