容大感光等公布“一类肟酯光引发剂及制备方法和在光刻检测中的应用”专利

天眼查APP显示，近日，深圳市容大感光科技股份有限公司,北京化工大学申请的“一类肟酯光引发剂及制备方法和在光刻检测中的应用”专利公布。 摘要显示，本发明涉及一类基于四苯乙烯为发色团的肟酯作为光聚合引发剂的制备方法及其在光刻检测中的应用。本发明所述四苯乙烯基肟酯在200～400nm之间均具有较强的光吸收，在光辐照条件下裂解产生自由基，可以高效引发单体的光聚合反应。本发明所述四苯乙烯基肟酯具有具有显著的聚集诱导发光特性，并且光照能改变其发光特性，对于光刻缺陷检测具有潜在的应用价值。

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