顶立科技“一种用于CVD沉积设备的复合加热系统、协同控制方法及其在制备碳化钽涂层中的应用”专利获授权

天眼查APP显示，近日，湖南顶立科技股份有限公司申请的“一种用于CVD沉积设备的复合加热系统、协同控制方法及其在制备碳化钽涂层中的应用”专利获授权。摘要显示，本发明公开了一种用于CVD沉积设备的复合加热系统、协同控制方法及其在制备碳化钽涂层中的应用。所述系统通过设置隔热层将感应加热单元与电阻加热单元进行有效分割和有机结合，并采用高电阻率非磁性材料制作电阻元件、优化引线布置与屏蔽结构，从根本上解决了两种加热方式间的电磁耦合与热干扰问题；控制方法通过分阶段协同控制、动态功率分配与软切换策略，实现了快速升温与温度均匀稳定的统一。因此，本发明有效克服了现有技术升温慢、温差大、适应性差的问题，特别适用于航空航天及半导体领域所需的高质量、高均匀性碳化钽涂层的制备。

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