江化微公布“一种电子级稀释剂的纯化工艺”专利

天眼查APP显示，近日，江阴江化微电子材料股份有限公司申请的“一种电子级稀释剂的纯化工艺”专利公布。 摘要显示，本发明公开了一种电子级稀释剂的纯化工艺，本工艺通过将含有β?PGME和/或β?PGMEA杂质的工业级粗品原料，在特定回流比（3~5:1）、分割比（0.55~0.75）及至少50个理论塔板数的精馏系统中进行分离纯化，优选采用串联的双塔减压精馏系统并控制塔釜温度与压差。本发明能高效地将产品中β?PGME和β?PGMEA的含量分别降至0.0030%和0.0060%以下，从根本上解决了因β?异构体残留导致的光刻胶薄膜厚度不均、彗星尾缺陷等问题，在保证合理产能与能耗的前提下，提升了光刻工艺质量与芯片制造良率。

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