中触媒公布“一种缔合度可控的胶体二氧化硅及其制备方法和应用”专利

天眼查APP显示，近日，中触媒新材料股份有限公司申请的“一种缔合度可控的胶体二氧化硅及其制备方法和应用”专利公布。 摘要显示，本发明提供了一种缔合度可控的胶体二氧化硅及其制备方法和应用，属于抛光液技术领域。本发明首先将超纯水加热至回流状态后，滴加硅酸烷基酯水解液至溶液pH值为酸性，熟化，得到混合液A，继续滴加硅酸烷基酯水解液，直至粒子生长至目标粒径，经加热浓缩除去醇，得到缔合度可控的胶体二氧化硅。本发明制备的胶体二氧化硅缔合度可调节范围广，稳定性好，分散性好，能够作为CMP抛光液研磨粒子，且本发明的方法操作简单，成本低，适合规模化生产。

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