微导纳米公布“喷淋机构及其检测系统”专利

天眼查APP显示，近日，江苏微导纳米科技股份有限公司申请的“喷淋机构及其检测系统”专利公布。 摘要显示，本申请提供一种喷淋机构及其检测系统，涉及半导体技术领域。喷淋机构用于向反应腔室内输送工艺气体，喷淋机构包括安装架和喷淋板，所述喷淋板包括沿第一方向设置的多个喷淋单元，每一所述喷淋单元沿第二方向的两端与所述安装架连接，且两端中的至少一端连接有锚具，所述锚具将对应的喷淋单元固定在所述安装架并向所述喷淋单元提供预张力，所述第一方向与所述第二方向相交。本申请实施例提供的喷淋机构中，通过锚具对每一喷淋单元提供预张力，在各个喷淋单元使用过程中能够有效抵消重力导致的下垂变形，使得喷淋板喷出的工艺气体均匀分布，从而提高薄膜沉积的均匀性。

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