格林达等公布“一种正性光刻胶显影用gemini表面活性剂及其显影液”专利

天眼查APP显示，近日，杭州格林达电子材料股份有限公司,四川格林达电子材料有限公司,北京科技大学申请的“一种正性光刻胶显影用gemini表面活性剂及其显影液”专利公布。 摘要显示，本发明涉及gemini表面活性剂技术领域，属于一种正性光刻胶显影用gemini表面活性剂。本发明还公开一种显影液，包含上述的正性光刻胶显影用gemini表面活性剂，所述gemini表面活性剂重量份为0.2～1.0%，所述显影液还包括0.5～2.5%重量份的碱性物质，余量为水，所述碱性物质为四甲基氢氧化铵和四乙基氢氧化铵中的至少一种。

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