鼎龙股份等公布“用于KrF抗蚀剂组合物中的树脂及其制备方法、抗蚀剂组合物”专利

天眼查APP显示，近日，湖北鼎龙芯盛科技有限公司,鼎龙（潜江）新材料有限公司,湖北鼎龙控股股份有限公司申请的“用于KrF抗蚀剂组合物中的树脂及其制备方法、抗蚀剂组合物”专利公布。 摘要显示，本发明公开了一种用于KrF抗蚀剂组合物中的树脂，由包含50至80质量份的对羟基苯乙烯单体、20至30质量份的酸敏保护基单体、10至20质量份的抗蚀刻性脂环族单体、0至5.0质量份的可反应型乳化剂原料反应得到，可反应型乳化剂包括丙磺酸盐类可反应型乳化剂，丙磺酸盐类可反应型乳化剂包括3?烯丙氧基?2?羟基?1?丙磺酸盐、2?丙烯酰胺基?2?甲基丙磺酸盐、3?（甲基丙烯酰氧基）丙磺酸盐、3?烯丙基?1?丙磺酸盐中的一种或多种组合，树脂的Mw为25000至30000，PDI为1.1至1.4，总单体残留量为200至300?ppm。还公开了该树脂的制备方法，及其在抗蚀剂组合物中的应用，抗蚀剂组合物的水接触角保持在良好范围内、膜厚残留率高及表面粗糙度小。

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