芯源微公布“一种恒温恒湿洁净的晶圆工艺环境系统”专利

天眼查APP显示，近日，沈阳芯源微电子设备股份有限公司申请的“一种恒温恒湿洁净的晶圆工艺环境系统”专利公布。 摘要显示，本发明属于涂胶显影设备技术领域，具体地说是一种恒温恒湿洁净的晶圆工艺环境系统，包括竖直分隔板、温湿度调节装置、风机过滤机组、单元腔体供风主管、单元腔体排风管、单元腔体风盒、机器人腔体供风主管、机器人腔体排风管、机器人腔体风盒。本发明通过温湿度调节装置、单元腔体供风主管、单元腔体排风管、单元腔体风盒的配合设置，可对各单元腔体有效供恒温恒湿洁净的工艺气体环境，通过风机过滤机组、机器人腔体供风主管、机器人腔体排风管、机器人腔体风盒的配合设置，可对各机器人腔体有效供洁净的非工艺气体环境，且能够有效避免机器人腔体的颗粒进入单元腔体，进而确保涂胶和显影工艺稳定及对应产品质量。

【免责声明】本文仅代表作者本人观点，与和讯网无关。和讯网站对文中陈述、观点判断保持中立，不对所包含内容的准确性、可靠性或完整性提供任何明示或暗示的保证。请读者仅作参考，并请自行承担全部责任。邮箱：news_center@staff.hexun.com