同飞股份公布“一种循环温控装置”专利

天眼查APP显示，近日，三河同飞制冷股份有限公司申请的“一种循环温控装置”专利公布。 摘要显示，本发明涉及循环温控技术领域，本发明提供了一种循环温控装置，包括温控冷水机，温控冷水机上设置有冷水接口和热水接口，还包括地埋式槽架和侧向滑动水箱，地埋式槽架设置在半导体生产车间内，地埋式槽架内自上而下纵向设置有热水管路和冷水管路，热水管路与热水接口连通，冷水管路与冷水接口连通，地埋式槽架的两侧均设置有多个侧向滑动水箱，侧向滑动水箱内设置有两个卷装呈“盘状”的输送管路，输送管路的一端通过转动连通结构与热水管路或冷水管路连通，输送管路的另一端与半导体制造设备连通。通过上述技术方案，解决了现有技术中使用循环温控技术，为多个半导体制造设备输送冷水时，容易造成循环水温度与外界环境室温换热的技术问题。

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