晶瑞电材等公布“一种用于制备半导体级甲醇的膜法组合净化工艺”专利

天眼查APP显示，近日，南京工业大学,南京工大膜应用技术研究所有限公司,晶瑞电子材料股份有限公司申请的“一种用于制备半导体级甲醇的膜法组合净化工艺”专利公布。 摘要显示，本发明公开了一种用于制备半导体级甲醇的膜法组合净化工艺。该工艺包括依次连通的分子筛脱水单元、耐甲醇反渗透膜单元、离子交换单元及渗透汽化膜单元。工艺中，工业级甲醇依次经分子筛脱水、反渗透膜过滤、阴阳离子交换树脂处理，最终通过渗透汽化膜深度分离，获得符合G5标准的半导体级甲醇。本工艺通过多级膜分离与树脂吸附耦合，在常温常压条件下实现超痕量金属离子、亚微米级颗粒及挥发性有机物的高效去除，具有流程紧凑、能耗低、净化效率高、可连续化操作等优点，适用于半导体、电子化学品等高端领域。

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