中科飞测公布“扫描电子显微镜对中调节方法及相关装置”专利

天眼查APP显示，近日，深圳中科飞测科技股份有限公司申请的“扫描电子显微镜对中调节方法及相关装置”专利公布。 摘要显示，本申请公开了扫描电子显微镜对中调节方法及相关装置，通过调节第一偏摆线圈，使电子束经过固定光阑后扫描待测物并形成第一图像，在第一图像中目标电子束光斑位于视野中心的前提下，通过调节聚光镜的机械位置，使经过聚光镜后的目标电子束光斑保持在视野中心，在目标电子束光斑位于视野中心的情况下，通过调节聚光镜电流使第二图像中的目标电子束光斑达到最小。在确定最小目标电子束光斑位于视野中心的前提下，判断目标电子束光斑的灰度分布是否呈视野中心对称，在确定目标电子束光斑的灰度分布呈视野中心对称的情况下，确定完成扫描电子显微镜对中调节。由此，以偏摆线圈电流变化扫描待测物形成的图像为判断依据，降低了对中流程的复杂度。

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