中触媒公布“一种非球形胶体二氧化硅及其制备方法和应用”专利

天眼查APP显示，近日，中触媒新材料股份有限公司申请的“一种非球形胶体二氧化硅及其制备方法和应用”专利公布。 摘要显示，本发明提供了一种非球形胶体二氧化硅及其制备方法和应用，属于抛光液技术领域。本发明首先将晶种二氧化硅溶液均匀分散在超纯水中，添加有机酸调节溶液pH为酸性，得到混合液A，将混合液A加热至预设温度，熟化一定时间，最终形成初步异形化胶体二氧化硅小颗粒。之后，匀速滴加硅酸烷基酯，直至颗粒生长至目标粒径，经加热浓缩除去醇，得到非球形胶体二氧化硅。本发明制备的所述胶体二氧化硅，非球形度高，稳定性和分散性好，能够作为CMP抛光液研磨粒子，且本发明的方法操作简单，成本低，适合规模化生产。

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